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2024-01-05 19:38
adminepi生产线是晶圆制造中一种主要的半导体晶圆生产线,全称为外延(Epitaxial)生长生产线。
epi生产线的主要功能是:
1. 在硅片晶圆上外延生长不同材料的半导体薄膜,如外延硅、砷化镓等。
2. 通过精确控制反应条件,生长出具有特定功能的半导体材料电子结构。
3. 获得的外延薄膜质量直接影响后续器件的性能。
epi生产线的关键工艺设备:
1. 反应炉:控温反应器室,用于外延生长。
2. 源料输送系统:控制向反应器输送气体源的流量和组成。
3. 自动控制系统:精确控制反应温度、压力、气体流量等参数。
epi生产线是半导体制造必不可少的重要工艺装备,对获得高质量晶圆至关重要。其自动化程度也日益增加。
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