这个iso8洁净等级相当于十万级!
1-9级可能是参照的ISO的标准\国际标准,
一般我们所说的百级相当于ISO5级,万级相当于ISO7级,十万级相当于ISO8级,一百万级相当于ISO9级。
1,洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级 还有著名的美国联邦标准(Fed.St.209系列)可以参考;
2,ISO1644的ISO5相当于Fed.St.209系列的100级(≥0.5μm粒子,≤3.5颗/升,或100颗/ft3,或3530颗/m3)
3,洁净度等级在100级以下者(1000,10000级等)通常用0.5μm粒径考核的居多;
4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表),对粒子检测仪器的要求当然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径(如0.5μm)而要用到更多的粒径,如0.3 μm 0.2μm 甚至0.1μm对洁净室进行检测评定。
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